◆ Tích hợp đầu dò laser và giai đoạn quét mẫu, cấu trúc rất ổn định, chống nhiễu mạnh
◆ Thiết bị định vị đầu dò chính xác, điều chỉnh căn chỉnh điểm laser rất dễ dàng
◆ Mẫu dẫn động một trục tự động tiếp cận đầu dò theo chiều dọc, sao cho đầu kim vuông góc với mẫu quét
◆ Phương pháp nạp kim thông minh của phát hiện tự động bằng gốm áp điện điều khiển bằng động cơ bảo vệ đầu dò và mẫu
◆ Định vị quang học tự động, không cần lấy nét, quan sát thời gian thực và định vị khu vực quét mẫu đầu dò
◆ Phương pháp chống sốc bằng hệ thống treo lò xo, đơn giản và thiết thực, hiệu quả chống sốc tốt
◆ Hộp cách âm được che chắn bằng kim loại, tích hợp cảm biến nhiệt độ và độ ẩm có độ chính xác cao, giám sát môi trường làm việc theo thời gian thực
◆ Tích hợp trình chỉnh sửa người dùng hiệu chỉnh phi tuyến tính của máy quét, mô tả đặc tính nanomet và độ chính xác của phép đo tốt hơn 98