| Kính hiển vi điện tử quét sợi vonfram (SEM) |
| | A63.7006 | A63.7015 |
| Nghị quyết | 15nm @ 30KV (SE) | 5nm @ 30KV (BSE) |
| Phóng đại | 20x ~ 60000x | 20x ~ 150000x |
| Súng điện tử | Hộp mực dây tóc vonfram định tâm trước, Hệ thống tự động phân áp điện áp |
| Vôn | Tăng tốc điện áp 1KV đến 30KV,
1KV / 5KV / 10KV / 15KV / 20KV / 30KV-6 bước |
| Hệ thống ống kính | Ống kính ngưng tụ điện từ 2 giai đoạn,
Thấu kính vật kính điện từ 1 giai đoạn |
| Miệng vỏ | - | Màng chắn Iris có thể điều chỉnh 30/50/50/100um, Thay đổi tia điện để có được hình ảnh có độ phân giải cao |
| Hệ thống chân không | Bơm quay, 100 lít / phút
Bơm phân tử Turbo, 70 lít / giây
Thời gian bơm xuống <3 phút
Kiểm soát chân không hoàn toàn tự động |
| Máy dò | SE: Máy dò điện tử thứ cấp |
| BSE: Máy dò tán xạ phía sau (Tùy chọn) |
| EDS: (Tùy chọn) |
| Giai đoạn làm việc mẫu | Hệ thống 3 trục, X, trục Y: 35mm / Trục R: 360 ° | Hệ thống 5 trục, trục X, Y: 35mm / Trục R: 360 °, Z: 0 ~ 22mm / Trục nghiêng: 0 ~ 45 ° |
| Mẫu tối đa | Đường kính 70mm, Chiều cao 30mm | Đường kính 80mm, Chiều cao 35mm |
| Dịch chuyển hình ảnh | Dịch chuyển hình ảnh X, Y ± 150um |
| Hệ thống quét hình ảnh | Quét nhanh: 320x240 (Thời gian quét: 0,1 giây)
Quét chậm: 640x480 (Thời gian quét: 3 giây)
Chế độ ảnh 1: 1280x960
Chế độ ảnh 2: 2560x1920
Chế độ ảnh 3: 5120x3840 |
| Định dạng hình ảnh | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Chức năng tự động | Tự động khởi động, Tự động lấy nét, Độ sáng / Độ tương phản tự động |
| Hiển thị ảnh | Độ phóng đại, Loại máy dò, Điện áp tăng tốc, Chế độ chân không, Biểu trưng (Văn bản), Ngày & giờ, Điểm đánh dấu văn bản, Thanh tỷ lệ, v.v. |
| Phần mềm máy tính | Hệ thống PC Work Station Win 10, Với Phần mềm Phân tích Hình ảnh Chuyên nghiệp để Kiểm soát Hoàn toàn Toàn bộ Hoạt động của Kính hiển vi SEM, Thông số kỹ thuật Máy tính Không kém Inter I5 3.2GHz, Bộ nhớ 4G, Màn hình IPS LCD 24 ", Đĩa cứng 500G, Chuột, Bàn phím |
| Kích thước & Trọng lượng | Thân kính hiển vi 460x600x950mm, Tổng trọng lượng 95Kg |
| A63.7006, A63.7015 Công cụ tiêu chuẩn & Trang phục phụ tùng |
| 1 | Sợi vonfram được định tâm trước | 5 chiếc / hộp |
| 2 | Giai đoạn mẫu Dia.15mm | 10 chiếc |
| 3 | Giai đoạn mẫu Dia.25mm | 10 chiếc |
| 4 | Giai đoạn mẫu Dia.15mm Nghiêng 45 ° | 5 cái |
| 5 | Giai đoạn mẫu Dia.15mm Nghiêng 90 ° | 5 cái |
| 6 | Chiều cao chuẩn Master | 1 cái |
| 7 | Allen Wrench | 1 bộ |
| số 8 | Đĩa CD phần mềm SEM | 1 cái |
| 9 | Băng dẫn điện carbon) | 1 cái |
| 10 | Cây kéo | 1 cái |
| 11 | Aurilave | 1 cái |
| 12 | Cái nhíp | 1 cái |
