A63.7080, A63.7081 Chức năng chính của phần mềm
Vận hành tích hợp điện áp cao	Tự động bật / tắt dây tóc	Quy định thay đổi tiềm năng
Điều chỉnh độ sáng	Điều chỉnh điện đến trung tâm	Độ sáng tự động
Điều chỉnh độ tương phản	Điều chỉnh vật kính	Tự động lấy nét
Điều chỉnh độ phóng đại	Tẩy dầu mỡ khách quan	Tự động loại bỏ loạn thị
Chế độ quét khu vực đã chọn	Điều chỉnh xoay điện	Quản lý các thông số kính hiển vi
Chế độ quét điểm	Điều chỉnh độ dịch chuyển chùm tia điện tử	Hiển thị thời gian thực về kích thước trường quét
Chế độ quét dòng	Điều chỉnh độ nghiêng chùm tia điện tử	Điều chỉnh ống kính súng
Quét bề mặt	Điều chỉnh tốc độ quét	Đầu vào đa kênh
Giám sát nguồn điện cao áp	Xoay tâm	Thước đo

SEM	A63.7069	A63.7080	A63.7081
Nghị quyết	3nm @ 30KV (SE) 6nm @ 30KV (BSE)	1.5nm@30KV (SE) 3nm @ 30KV (BSE)	1.0nm@30KV (SE) 3.0nm@1KV (SE) 2,5nm@30KV (BSE)
Phóng đại	Độ phóng đại trung thực âm tính 8x ~ 300000x	Độ phóng đại trung thực âm tính 8x ~ 800000x	Độ phóng đại thực âm 6x ~ 1000000x
Súng điện tử	Hộp mực dây tóc vonfram định tâm trước	Schottky Field Emission Gun	Schottky Field Emission Gun
Vôn	Tăng tốc điện áp 0 ~ 30KV, Điều chỉnh liên tục, Điều chỉnh Bước 100V @ 0-10Kv, 1KV @ 10-30KV
Xem lướt qua	Chức năng hình ảnh xem nhanh một phím	N / A	N / A
Hệ thống ống kính	Thấu kính côn điện từ ba cấp	Ống kính côn điện từ đa cấp
Miệng vỏ	3 Khẩu độ Vật kính Molypden, Có thể Điều chỉnh Bên ngoài Hệ thống Chân không, Không cần Tháo rời Vật kính Để Thay đổi Khẩu độ
Hệ thống chân không	1 Bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Chân không phòng mẫu> 2.6E-3Pa Hút chân không trong phòng súng điện tử> 2.6E-3Pa Kiểm soát chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không Mẫu tùy chọn: A63.7069-LV 1 Bơm phân tử Turbo 2Máy bơm cơ khí Chân không phòng mẫu> 2.6E-3Pa Hút chân không trong phòng súng điện tử> 2.6E-3Pa Kiểm soát chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không Chân không thấpPhạm vi 10 ~ 270Pa để chuyển đổi nhanh trong 90 giây đối với BSE (LV)	1 bộ bơm ion 1 Bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Phòng mẫu Hút chân không> 6E-4Pa Chân không phòng súng điện tử> 2E-7 Pa Kiểm soát chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không	1 Bơm Ion Sputter 1 Bơm hợp chất ion Getter 1 Bơm phân tử Turbo 1 máy bơm cơ khí Phòng mẫu Hút chân không> 6E-4Pa Chân không phòng súng điện tử> 2E-7 Pa Kiểm soát chân không hoàn toàn tự động Chức năng khóa liên động chân không
Máy dò	SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò)	SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò)	SE: Máy dò điện tử thứ cấp chân không cao (Có bảo vệ máy dò)
	BSE: Phân đoạn bán dẫn 4 Máy phát hiện tán xạ trở lại Mẫu tùy chọn: A63.7069-LV BSE (LV): Phân đoạn bán dẫn 4 Máy phát hiện tán xạ trở lại	Không bắt buộc	Không bắt buộc
	CCĐ:Camera CCD hồng ngoại	CCĐ:Camera CCD hồng ngoại	CCĐ:Camera CCD hồng ngoại
Mở rộng cổng	2 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho EDS, BSD, WDS, v.v.	4 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho BSE, EDS, BSD, WDS, v.v.	4 cổng mở rộng trên phòng mẫu cho BSE, EDS, BSD, WDS, v.v.
Giai đoạn mẫu	Giai đoạn 5 trục, 4Tự động+1Thủ côngĐiều khiển Phạm vi du lịch: X = 70mm, Y = 50mm, Z = 45mm, R = 360 °, T = -5 ° ~ + 90 ° (Thủ công) Chức năng cảnh báo & dừng cảm ứng	5 trụcTự động Ở giữaSân khấu Phạm vi du lịch: X = 80mm, Y = 50mm, Z = 30mm, R = 360 °, T = -5 ° ~ + 70 ° Chức năng cảnh báo & dừng cảm ứng Mô hình tùy chọn: A63.7080-M5 trụcThủ côngSân khấu A63.7080-L5 trụcTự động LớnSân khấu	5 trụcTự động LớnSân khấu Phạm vi du lịch: X = 150mm, Y = 150mm, Z = 60mm, R = 360 °, T = -5 ° ~ + 70 ° Chức năng cảnh báo & dừng cảm ứng
Mẫu tối đa	Dia.175mm, Chiều cao 35mm	Dia.175mm, Chiều cao 20mm	Đường kính.340mm, Chiều cao 50mm
Hệ thống hình ảnh	Ảnh tĩnh thực Độ phân giải tối đa 4096x4096 pixel, Định dạng tệp hình ảnh: BMP (Mặc định), GIF, JPG, PNG, TIF	Ảnh tĩnh thực Độ phân giải tối đa 16384x16384 pixel, Định dạng tệp hình ảnh: TIF (Mặc định), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Tự động ghi video .AVI kỹ thuật số	Ảnh tĩnh thực Độ phân giải tối đa 16384x16384 pixel, Định dạng tệp hình ảnh: TIF (Mặc định), BMP, GIF, JPG, PNG Video: Tự động ghi video .AVI kỹ thuật số
Phần mềm máy tính	Hệ thống PC Work Station Win 10, Với Phần mềm Phân tích Hình ảnh Chuyên nghiệp để Kiểm soát Hoàn toàn Toàn bộ Hoạt động của Kính hiển vi SEM, Thông số kỹ thuật Máy tính Không kém Inter I5 3.2GHz, Bộ nhớ 4G, Màn hình IPS LCD 24 ", Đĩa cứng 500G, Chuột, Bàn phím
Hiển thị ảnh	Mức độ hình ảnh phong phú và tỉ mỉ, hiển thị độ phóng đại theo thời gian thực, thước, điện áp, đường cong màu xám
Kích thước & Trọng lượng	Thân kính hiển vi 800x800x1850mm Bàn làm việc 1340x850x740mm Tổng trọng lượng 400Kg	Thân kính hiển vi 800x800x1480mm Bàn làm việc 1340x850x740mm Tổng trọng lượng 450Kg	Thân kính hiển vi 1000x1000x1730mm Bàn làm việc 1330x850x740mm Tổng trọng lượng 550Kg
Phụ kiện tùy chọn
Phụ kiện tùy chọn	A50.7002Máy đo phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Bộ phủ tán xạ ion	A50.7001Máy dò điện tử tán xạ ngược BSE A50.7002Máy đo phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Bộ phủ tán xạ ion A50.7030Bảng điều khiển cơ giới	A50.7001Máy dò điện tử tán xạ ngược BSE A50.7002Máy đo phổ tia X phân tán năng lượng EDS A50.7011Bộ phủ tán xạ ion A50.7030Bảng điều khiển cơ giới

A50.7001	Máy dò BSE	Máy dò tán xạ ngược bốn phân đoạn bán dẫn; Có trong Thành phần A + B, Thông tin Hình thái học AB; Mẫu có sẵn Quan sát không có vàng rơi vãi; Có sẵn trong quan sát trực tiếp tạp chất và phân phối từ bản đồ thang độ xám.
A50.7002	EDS (Máy dò tia X)	Cửa sổ Silicon Nitride (Si3N4) để tối ưu hóa quá trình truyền tia X năng lượng thấp để phân tích nguyên tố ánh sáng; Độ phân giải tuyệt vời và thiết bị điện tử có độ ồn thấp tiên tiến của họ cung cấp hiệu suất thông lượng vượt trội; Dấu chân nhỏ mang lại tính linh hoạt để đảm bảo điều kiện thu thập Aata và hình học lý tưởng; Máy dò chứa chip 30mm2.
A50.7003	EBSD (Nhiễu xạ tán xạ ngược chùm tia điện tử)	người dùng có thể phân tích hướng tinh thể, pha tinh thể và kết cấu vi mô của vật liệu và hiệu suất vật liệu liên quan, v.v. tự động tối ưu hóa cài đặt camera EBSD trong quá trình thu thập dữ liệu, thực hiện phân tích thời gian thực tương tác để thu được thông tin tối đa tất cả dữ liệu được gắn nhãn thời gian, có thể được xem bất kỳ lúc nào độ phân giải cao 1392 x 1040 x 12 Tốc độ quét và chỉ số: 198 điểm / giây, với Ni là tiêu chuẩn, trong điều kiện 2 ~ 5nA, nó có thể đảm bảo tỷ lệ chỉ số ≥99%; hoạt động tốt trong điều kiện dòng điện tia thấp và điện áp thấp 5kV ở 100pA Độ chính xác đo định hướng: Tốt hơn 0,1 độ Sử dụng hệ thống chỉ mục ba mặt: không cần dựa vào định nghĩa băng tần đơn, dễ dàng lập chỉ mục chất lượng mẫu kém cơ sở dữ liệu chuyên dụng: Cơ sở dữ liệu đặc biệt EBSD thu được bằng nhiễu xạ điện tử:> cấu trúc pha 400 Khả năng chỉ số: nó có thể tự động lập chỉ mục cho tất cả các nguyên liệu tinh thể của 7 hệ tinh thể. Các tùy chọn nâng cao bao gồm tính toán độ cứng đàn hồi (Elastic Stiffness), hệ số Taylor (Taylor), hệ số Schmidt (Schmid), v.v.
A50.7010	Máy phủ	Vỏ bảo vệ kính: ∮250mm;Cao 340mm; Phòng gia công kính: ∮88mm;Cao 140mm, ∮88mm;Cao 57mm; Kích thước giai đoạn mẫu: ∮40mm (tối đa); Hệ thống chân không: Bơm nốt ruồi và Bơm cơ học; Phát hiện chân không: Pirani Gage; Chân không: tốt hơn 2 X 10-3 Pa; Bảo vệ chân không: 20 Pa với van thổi vi mô; Chuyển động mẫu: Xoay mặt phẳng, tuế sai độ nghiêng.
A50.7011	Bộ phủ tán xạ ion	Phòng gia công kính: ∮100mm;Cao 130mm; Kích thước giai đoạn mẫu: ∮40mm (Đựng được 6 cốc mẫu); Kích thước mục tiêu vàng: ∮58mm * 0,12mm (độ dày); Phát hiện chân không: Pirani Gage; Bảo vệ chân không: 20 Pa với van thổi vi mô; Khí trung bình: khí argon hoặc không khí có khí Argon Khí vào đặc biệt và khí điều hòa ở quy mô nhỏ.
A50.7012	Argon Ion Sputtering Coater	Mẫu được mạ bằng carbon và vàng dưới chân không cao; Bàn mẫu có thể xoay, Lớp phủ đồng nhất, Kích thước hạt Khoảng 3-5nm; Không lựa chọn vật liệu mục tiêu, không làm hỏng mẫu; Chức năng của Làm sạch Ion và Làm loãng Ion có thể được Thực hiện.
A50.7013	Máy sấy điểm tới hạn	Đường kính bên trong: 82mm, Chiều dài bên trong: 82mm; Phạm vi áp suất: 0-2000psi; Phạm vi nhiệt độ: 0 ° -50 ° C (32 ° -122 ° F)
A50.7014	In thạch bản chùm tia điện tử	Dựa trên kính hiển vi điện tử quét, một hệ thống phơi sáng Nano mới lạ đã được phát triển; Modificaton có tất cả các chức năng bán để tạo ra hình ảnh chiều rộng dòng nano; Hệ thống Ebl được cải tiến được ứng dụng rộng rãi vào các thiết bị vi điện tử, thiết bị quang điện tử, thiết bị lượng tử, hệ thống vi điện tử R & d.

A63.7080, A63.7081 Trang phục Tiêu hao Tiêu chuẩn
1	Field Emission Filament	Được cài đặt trong kính hiển vi	1 Pc
2	Cốc mẫu	Đường kính.13mm	5 chiếc
3	Cốc mẫu	Đường kính.32mm	5 chiếc
4	Băng dẫn điện hai mặt carbon	6mm	1 gói hàng
5	Mỡ chân không		10 chiếc
6	Vải không lông		1 ống
7	Đánh bóng dán		1 Pc
số 8	Hộp mẫu		2 túi
9	Tăm bông		1 Pc
10	Bộ lọc sương mù dầu		1 Pc
A63.7080, A63.7081 Công cụ tiêu chuẩn & Trang phục phụ tùng
1	Lục giác bên trong Spanner	1,5mm ~ 10mm	1 bộ
2	Cái nhíp	Chiều dài 100-120mm	1 Pc
3	Rãnh vít	2 * 50mm, 2 * 125mm	2 chiếc
4	Tua vít chữ thập	2 * 125mmm	1 Pc
5	Làm sạch ống thông hơi	Đường kính 10 / 6,5mm (Đường kính ngoài / Đường kính trong)	5m
6	Van giảm áp	Áp suất đầu ra 0-0,6MPa	1 Pc
7	Nguồn cung cấp năng lượng nướng bên trong	0-3A DC	2 chiếc
số 8	Bộ nguồn UPS	10kVA	2 chiếc

Kính hiển vi quang học quét 6x ~ 1000000x Giai đoạn cơ giới hóa năm trục kỹ thuật số

Kính hiển vi quang học quét 6x

kính hiển vi quang học quét năm trục

Kính hiển vi quang học quét 6x ~ 1000000x Giai đoạn cơ giới hóa năm trục kỹ thuật số