- Buồng xử lý kính: ∮100mm; Cao 130mm.
- Kích thước giai đoạn mẫu: ∮40mm (Giữ 6 cốc mẫu)
- Kích thước mục tiêu được mở rộng:
∮58mm * 0.12mm (độ dày)
- Phát hiện chân không: Pirani gage
- Bảo vệ chân không: 20 pa với van lạm phát siêu nhỏ
--Medium Gas: Argon hoặc không khí có khí argon hút khí đặc biệt và khí điều hòa ở quy mô micro.
Máy thổi ion A50.7011 |
Buồng chân không | Dia 100mm * H130mm |
Giai đoạn mẫu vật | Dia 40mm (Giữ 6 ly mẫu vật) |
Mục tiêu phún xạ vàng | Dia 58mm * 0.12mm (độ dày) |
Máy đo chân không | Pirani Gage |
Bơm chân không | Vòng quay Vane Pums: 2L / s |
Điểm bảo vệ chân không | 20Pa Với Van lạm phát microscale |
Khí làm việc | Argon hoặc không khí với khí đầu vào đặc biệt khí argon và khí điều tiết trong microcale |
Điện áp phún xạ | 1.6KV |
Tổng trọng lượng | 48kg |
Tuân thủ | CE |