A63.7088 | |
Nghị quyết | 1.0nm@30KV(SE), 1.5nm@1KV(SE) |
Tăng kích thước | 1x~2000000x |
Súng điện tử | Schottky Field Emission Gun |
Điện áp | Điện áp tăng tốc 0,02 ~ 30KV |
chùm tia điện tử | 1pA ~ 20nA |
Hệ thống chân không | 1 máy bơm ion phun, 1 máy bơm phân tử turbo, 1 máy bơm cơ khí |
Máy phát hiện | SE trong ống kính, SE trong phòng lấy mẫu, BSE, CCD |
Mở cổng | Mở rộng cổng trên phòng mẫu cho BSE, EDS, EBSD, CL vv |
Giai đoạn mẫu | 5 TrụcÔ tôGiai đoạn, phạm vi di chuyển: X=125mm, Y=125mm, Z=50mm, R=360°, T=-5°~+70° |
Số mẫu tối đa | Phòng mẫu đường kính 330mm, chiều cao 260mm |
Hệ thống hình ảnh | Hình ảnh tĩnh thực Max độ phân giải 256x256~16k~16k Pixel |
Máy tính & Phần mềm | PC Workstation Hệ thống Windows, với phần mềm phân tích hình ảnh chuyên nghiệp để kiểm soát hoàn toàn toàn SEM Microscope hoạt động, chuột, bàn phím |
Bảng điều khiển | Bao gồm |
Kích thước & Trọng lượng | Cơ thể chính 1900x1100x1800mm, tổng trọng lượng 800kg |
Phụ kiện tùy chọn | |
A50.7091 | Máy làm sạch chùm ion |
A50.7092 | Đèn pháo phát thải trường |
▶Thiết kế quang điện tử cao cấp ●Vũ khí điện tử phát xạ nhiệt trường, chùm ổn định, độ phân giải hình ảnh cao ●Công nghệ gia tốc ống đầy đủ đảm bảo hiệu suất hình ảnh cao của chùm electron ở điện áp gia tốc thấp ●Thiết kế ống kính tổng hợp của ống kính điện tĩnh và ống kính từ tính, ống kính đối tượng không có rò rỉ từ tính, và hình ảnh của các mẫu từ tính là không lo lắng |
▶Hệ thống thu thập tín hiệu toàn diện ● Có thể đồng thời thu tín hiệu từ hai loại electron thứ cấp, electron phân tán ngược và electron truyền. ● Sự tương phản hình thái mẫu và thành phần được hiển thị đồng thời để tiết lộ hình thái vi mô và thông tin thành phần của mẫu ở mức độ lớn nhất. |