|
▶Tính năng A64.5401 1) Phần mềm đo lường và phân tích với hoạt động tích hợp không cần chuyển đổi giao diện để vận hành và các tham số cấu hình được đặt trước trước khi đo.Phần mềm tự động đếm dữ liệu đo và cung cấp chức năng xuất báo cáo dữ liệu, có thể nhanh chóng nhận ra chức năng đo hàng loạt. 2) Cung cấp chức năng đo đa vùng tự động, đo hàng loạt, lấy nét tự động, điều chỉnh độ sáng tự động và các chức năng tự động khác. 3) Cung cấp chức năng đo đường may. 4) Cung cấp các chức năng xử lý dữ liệu của bốn mô-đun điều chỉnh vị trí, hiệu chỉnh, lọc và trích xuất.Điều chỉnh vị trí bao gồm các chức năng như cân bằng và phản chiếu hình ảnh;hiệu chỉnh bao gồm các chức năng như lọc không gian, chỉnh sửa và khử nhiễu cực đại;lọc bao gồm các chức năng như loại bỏ hình dạng, lọc tiêu chuẩn và lọc quang phổ;trích xuất bao gồm các chức năng như trích xuất vùng và trích xuất hồ sơ. 5) Cung cấp năm chức năng phân tích chính bao gồm phân tích cấu hình hình học, phân tích độ nhám, phân tích cấu trúc, phân tích tần suất và phân tích chức năng.Trong số đó, phân tích cấu hình hình học bao gồm các tính năng như chiều cao bước, khoảng cách, góc, độ cong và các chức năng khác, và đánh giá độ thẳng, dung sai độ tròn và các chức năng khác;phân tích độ nhám bao gồm độ nhám đường theo tiêu chuẩn quốc tế ISO4287, độ nhám bề mặt ISO25178, ISO12781 san lấp mặt bằng và các chức năng phân tích đầy đủ thông số khác;phân tích cấu trúc bao gồm thể tích lỗ rỗng và độ sâu máng, v.v.;phân tích tần số bao gồm các chức năng như hướng kết cấu và phân tích phổ;phân tích chức năng bao gồm các chức năng như thông số SK và thông số thể tích. 6) Cung cấp các chức năng phân tích phụ trợ như phân tích một phím và phân tích nhiều tệp, thiết lập các mẫu phân tích, kết hợp với các chức năng đo lường tự động và đo lường hàng loạt được cung cấp trong phép đo, nó có thể thực hiện đo lường hàng loạt các thiết bị chính xác có kích thước nhỏ và trực tiếp lấy dữ liệu phân tích. |
|
Kính hiển vi đồng tiêu là một dụng cụ thử nghiệm được sử dụng để đo kích thước nanomet của các thiết bị và vật liệu chính xác khác nhau.Nó dựa trên nguyên tắc của công nghệ đồng tiêu, kết hợp với công nghệ quét song song đĩa xốp, mô-đun quét hướng Z chính xác, thuật toán mô hình 3D, v.v. để thực hiện quét không tiếp xúc trên bề mặt thiết bị và thiết lập hình ảnh 3D bề mặt.Hình ảnh 3D của bề mặt thiết bị được thực hiện thông qua phần mềm hệ thống.Xử lý và phân tích dữ liệu, và thu được các thông số 2D và 3D phản ánh chất lượng bề mặt của thiết bị,đểnhận ra công cụ kiểm tra quang học để đo 3D địa hình bề mặt của thiết bị. |
| Bảng thông số kỹ thuật kính hiển vi đồng tiêu A64.5401 | ||
| nguyên tắc đo lường | Hệ thống quang học đồng tiêu | |
| Vật kính kính hiển vi | 10×(Chuẩn), 20×, 50×, 100×(Tùy chọn) | |
| Góc nhìn | 160×160 μm~1,6×1,6 mm | |
| Tốc độ khung hình quét*1 | ≥10HZ | |
| đo chiều cao | Độ lặp lại*2 | 20×: 40nm;50×: 20nm;100×: 20nm |
| Độ chính xác*2 | ± (0,2+L/100) μm | |
| độ phân giải màn hình | 0,5nm | |
| đo chiều rộng | độ lặp lại*3 | 20×: 100nm;50×: 50nm;100×: 30nm |
| Độ chính xác*3 | ± 2% | |
| độ phân giải màn hình | 1nm | |
| Nền tảng dịch chuyển XY | kích cỡ | 210×210mm |
| phạm vi di chuyển | 100×100mm | |
| Trọng tải | 10kg | |
| Phương pháp điều khiển | điện | |
| Phạm vi chuyển động theo hướng Z | 100mm | |
| Tháp thấu kính mục tiêu | cơ giới 5 lỗ | |
| chiếu sáng | nguồn sáng | DẪN ĐẾN |
| Số lượng lớn nhất | 840mW | |
| kích thước | 590×390×540mm | |
| Tổng khối lượng | 45kg | |
| Nguồn cấp | AC220V/50Hz | |
| Môi trường làm việc | Nhiệt độ 10℃~35℃, độ dốc nhiệt độ <1℃/15 phút, độ ẩm 30~80%, Độ rung <0,002g, dưới 15Hz | |
| Lưu ý: *1 Sử dụng thấu kính 20x để đo khối mẫu bước tiêu chuẩn 4,7µm ở nhiệt độ môi trường xung quanh là 20±2°C. *2 Đo khối mẫu bước chuẩn 4,7µm ở nhiệt độ môi trường 20±2°C với thấu kính 20 lần trở lên. *3 Sử dụng thấu kính từ 20 lần trở lên để đo mẫu kẻ ô tiêu chuẩn ở nhiệt độ môi trường xung quanh là 20 ± 2°C. |
||
| Thông số kỹ thuật vật kính | Model Trường quan sát Khoảng cách làm việc (WD) Khẩu độ số (NA) | |
| 10X 1600×1600 μm 10,6 mm 0,25 | ||
| 20X 800×800 μm 1,3 mm 0,40 | ||
| 50X 320×320 μm 0,38 mm 0,75 | ||
| 100X 160×160 μm 0,21 mm 0,90 | ||
| Danh sách cấu hình sản phẩm Cấu hình chuẩn: |
1) A64.5401 Thân chính | |
| 2) Giai đoạn dịch chuyển XY: giai đoạn dịch chuyển tự động | ||
| 3) Thương hiệu máy tính | ||
| 4) Mô-đun hiệu chuẩn hệ thống | ||
| 5) Cần điều khiển | ||
| 6) Phần mềm kính hiển vi đồng tiêu | ||
| 7) Hộp phụ kiện dụng cụ | ||
| 8) Hướng dẫn sử dụng sản phẩm | ||
| 9) Giấy chứng nhận sản phẩm, phiếu bảo hành | ||
| Không bắt buộc | 1) Vật kính đo: 20×, 50×, 100× | |
| 2) Bàn hút chân không (dùng cho tấm bán dẫn): 6 inch, 8 inch; | ||
| 3) Mô-đun chức năng đo lường ghép nối phép đo tự động (yêu cầu hỗ trợ phần cứng) | ||
|
Thực hiện các đặc điểm địa hình bề mặt như đường viền bề mặt, khuyết tật bề mặt, điều kiện mài mòn, điều kiện ăn mòn, độ phẳng, độ nhám, độ gợn sóng, khe hở lỗ rỗng, chiều cao bước, biến dạng uốn và điều kiện xử lý của các sản phẩm, linh kiện và vật liệu khác nhau.Đo lường và phân tích. |
|
▶4.1 Độ chính xác cao và khả năng lặp lại cao Hệ thống đo lường bao gồm các cảm biến hình ảnh có độ nhiễu thấp, các thành phần quang học và bộ mã hóa hiệu suất cao cũng như các thuật toán tái tạo 3D xuất sắc đảm bảo phép đo đáp ứng các tiêu chuẩn;bắt nguồn từ ngành đo lường trong nhiều năm, cùng một dòng kiểu dáng công nghiệp và mức độ xử lý hàng đầu đảm bảo độ lặp lại phép đo ở mức cao. |
|
▶4.2 Quét song song tốc độ cao Quá trình quét song song đa điểm của cấu hình bằng cách sử dụng đĩa xốp giúp cải thiện đáng kể hiệu quả công việc so với sơ đồ quét một điểm truyền thống của điện kế và quá trình quét có thể hoàn tất chỉ trong vài giây. |
|
▶4.3 Khả năng thích ứng mạnh mẽ Hệ thống đo lường có dải động cực cao cho các tư thế mẫu khác nhau, độ phức tạp của bề mặt và hệ số phản xạ bề mặt.
▶4.4 Phần mềm đo lường và phân tích tích hợp 1) Việc đo lường và phân tích được vận hành trên cùng một giao diện, không cần chuyển đổi, dữ liệu đo lường được tự động đếm và thực hiện chức năng đo lường hàng loạt nhanh chóng; 2) Cửa sổ trực quan thuận tiện cho người dùng quan sát quá trình quét trong thời gian thực; 3) Kết hợp với chức năng đo lường tự động của mẫu phân tích tùy chỉnh, nó có thể tự động hoàn thành quy trình phân tích và đo lường đa vùng; 4) Năm mô-đun chức năng phân tích hình học, phân tích độ nhám, phân tích cấu trúc, phân tích tần số và phân tích chức năng đã hoàn tất; 5) Phân tích một cú nhấp chuột, phân tích nhiều tệp, các mục phân tích được kết hợp tự do được lưu dưới dạng mẫu phân tích, phân tích một lần nhấp cho các mẫu hàng loạt và phân tích dữ liệu và các chức năng biểu đồ thống kê được cung cấp; 6) Có thể đo hơn 300 thông số 2D và 3D theo tiêu chuẩn ISO/ASME/EUR/GBT và các tiêu chuẩn khác. |
|
▶4.5 Cần điều khiển chính xác Cần điều khiển tích hợp với chức năng điều chỉnh dịch chuyển theo ba hướng X, Y và Z có thể nhanh chóng hoàn thành công việc đo lường trước như dịch giai đoạn và lấy nét theo hướng Z.
▶4.6 Thiết kế chống va chạm Tránh làm hỏng vật kính và vật cần đo do va chạm do thao tác sai.
▶4.7 Kính hiển vi điện hoàn toàn Được trang bị một loạt các bộ phận điện, các bộ phận điện được kết nối chặt chẽ này hoạt động cùng nhau để giúp việc quan sát trở nên nhanh chóng và đơn giản. |
Sản phẩm của chúng tôi được bán trên toàn thế giới. Bạn có thể yên tâm về toàn bộ quá trình sản xuất sản phẩm của chúng tôi.
